meterlab blog

t-Nova를 이용한 정밀 거리 측정

4월 19, 2024

그림 1과 같은 첨단 제조공정에서의 정밀 거리 측정은 제품의 품질, 생산성 및 기술 혁신의 핵심 요소입니다. 높은 정밀도와 효율성을 요구하는 현대 산업에 필수적이며, 특히 반도체 칩 제조와 자동차 조립과 같은 분야에서 중요한 역할을 수행하고 있습니다. 반도체 칩 제조 중 웨이퍼에 미세한 회로 패턴을 형성하는 리소그래피 공정에서는 나노미터 단위의 정밀도를 요구합니다. 이 공정에서 정밀 거리 측정 기술은 웨이퍼의 각 칩 위치를 정확히 측정하여 정밀한 패턴 형성을 가능하게 합니다. 이는 고성능 칩의 생산을 위한 핵심적인 요소로, 칩의 품질과 수율을 향상시켜 최종 제품의 성능과 신뢰성을 보장합니다. 자동차 조립

제7회 정밀측정 워크숍 발표

4월 4, 2024

그림 1. 제7회 정밀측정워크숍 3월 27일 수요일부터 29일 금요일까지 한국정밀공학회 정밀측정 부문위원회 등 5개사가 주최하여 제7회 정밀측정워크숍을 서울 코엑스에서 개최되었습니다. 표면 거칠기 측정 튜토리얼을 시작으로 총 16개의 일반 및 초청 발표가 있었습니다. 그림 2. 미터랩 발표 사진 미터랩은 “초분광 기반 두께 및 형상 측정 기술”에 대한 주제로 발표를 진행하였습니다. 미터랩의 소개를 시작으로 두께 및 형상 측정을 위한 센서와 분광기의 소개를 하였습니다. 미터랩에서 두께 측정에 특화하여 자체 개발한 초분광 카메라 s-Nova-H 시리즈와 이를 이용한 두께 측정 기술에 대한 설명을 하였습니다. 다음으로, 초분광 카메라에 분광 간섭계를 결합하여

t-Nova-1550R을 이용한 TSV 깊이 측정

3월 22, 2024

그림 1과 같이 반도체 공정에서 TSV(Through-Silicon Via) 기술은 칩 간의 수직 연결을 가능하게 하는 핵심 기술 중 하나입니다. TSV를 통해 기존의 수평 연결 방식보다 공간 효율성을 높이고, 신호 전송 시간을 단축시키며, 에너지 효율을 개선할 수 있습니다. TSV 깊이 측정은 이러한 수직 연결 기술의 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 필수적입니다. 정밀한 깊이 측정을 통해 제조 공정에서의 불량률을 줄임으로써, 비용을 절감하고 수율을 높여 생산 효율성을 개선할 수 있습니다. 이처럼 중요한 TSV 깊이 측정에 가장 적합한 장비가 바로 미터랩의 t-Nova-1550R입니다. t-Nova-1550R은 분광간섭계를 기반으로 하여, 반도체 공정에서의 다양한 측정 요구사항을

SPIE Photonics West 2024 전시회 참가

2월 8, 2024

2024년 1월 30일 화요일부터 2월 1일 목요일까지 미국 캘리포니아 샌프란시스코 모스콘 센터에서 개최된 SPIE Photonics West 2024 전시회에 모회사인 노비텍(Novitec)이 참가하여 제품 전시를 하였다. 전시 부스에서는 미터랩(Meterlab)에서 개발된 두께 측정 센서와 표면 형상 측정 센서 제품을 전시하였으며, 미터랩의 연구개발진들도 함께 참가하였다. 특히, 이번 전시회에서는 두께 측정 센서 t-Nova-1550TN을 소형으로 구성하여 선보였다. 그림 1. 부스 전경 그림 1와 같이 테이블 부스에서 전시를 하였으며, 테이블 좌측에 소형 두께 측정 센서 t-Nova-1550TN, 우측에는 라인 분광기를 이용한 삼차원 표면 형상 측정 센서 t-Nova-850H, 중앙에는 제품 소개 영상과 카탈로그를 비치하였다.

한국정밀공학회 2023 추계학술대회 전시회 참가

11월 20, 2023

한국정밀공학회가 주관하는 2023년 추계학술대회가 지난 11월 15일-17일 강원도 쏠비치 삼척에서 개최되었습니다. 미터랩은 이번 전시회에서 작년에 개발한 초분광 이미징 분광기인 s-Nova-850H와 간섭계를 구성하여 한 축 방향 스캐닝만으로 삼차원 형상 측정이 가능한 t-Nova-850H를 출품하여 참관객들의 많은 관심을 받았습니다. 그림 1. t-Nova-850H 시연 모듈 또한, 미터랩 소속의 배재석 책임연구원은 KSPE Young Researcher Award 수상자로 선정되어 미터랩을 빛내어 주었습니다. 그림 2. KSPE Young Researcher Award 수상 미터랩은 앞으로도 지속적인 연구개발을 통해 고객들의 요구사항과 문제점을 귀기울여 듣고 해결할 수 있는 업체가 되겠습니다. 감사합니다.

제1회 광계측 응용기술 세미나 발표

11월 2, 2023

그림 1. 제1회 광계측 응용기술 세미나 11월 1일 수요일, 한국표준과학연구원과 한국광기술원이 공동 주최하고 미터랩의 후원으로 제1회 광계측 응용기술 세미나가 서울 스페이스쉐어 서울역점 토파즈홀에서 성공적으로 개최되었습니다. 이번 세미나는 처음 개최되었음에도 불구하고, 광계측과 관련된 여러 기업들이 적극 참여하여 뜻깊은 자리를 만들어냈습니다. 세미나는 고신뢰성 검사계측 기술, 차세대 렌즈 설계 및 제작 기술, 산업응용기술이라는 세 가지 세션으로 구성되었으며, 각 세션에서는 총 네 개의 발표가 진행되었습니다. 그림 2. 미터랩 소개 사진 그림 3. 미터랩의 기술 설명 사진 미터랩은 산업응용기술 세션에서 “라인 분광기를 이용한 삼차원 표면 형상 측정 기술”에 대한 주제로